MEMS晶振(MEMS Oscillator)

MEMS晶振，即基于微机电系统（MEMS）技术的振荡器，是一种采用全自动化的半导体工艺生产的小型化、低功耗、高频率稳定性和温度稳定性的时钟源和频率控制器。它通过微机电系统制作的机械振动结构和电路驱动系统相结合，实现了在紧凑的封装体积内提供高精度、高稳定性的时钟信号。MEMS晶振的主要特性包括小型化便于集成、低功耗延长设备续航、高频率稳定性满足严格时序要求、温度稳定性好适应各种环境、抗震性能好适用于移动设备、以及品质一致性高降低不良率。